行星減速機齒輪的熱處理變形直接影響到齒輪的精度、強度、噪聲和壽命，即使在滲碳熱處理后加上磨齒工序，變形仍然要降低齒輪的精度等級。影響滲碳熱處理變形的因素較多，只有控制各方面的因素才能將變形控制到較小程度，一般常見的四種齒輪處理工藝如下：

1、表面淬火
  常見的表面淬火方法有高頻淬火（對小尺寸齒輪）和火焰淬火（對大尺寸齒輪）兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，其效果最好。

2、滲碳淬火
   滲碳淬火齒輪具有相對最大的承載能力，但必須采用精加工工序（磨齒）來消除熱處理變形，以保證精度。

滲碳淬火齒輪常用滲碳前碳的質量分數為0.2%~0.3%的合金鋼，其齒面硬度常在58%~62%HRC（洛氏硬度）的范圍內。若低于57HRC（洛氏硬度）時，齒面強度顯著下降，高于62HRC時則脆性增加。輪齒心部硬度一般以310~330HBW為宜。

滲碳淬火齒輪的硬度，從輪齒表面至深層應逐漸降低，而有效滲碳深度規定為表面至深層應逐漸降低，而有效滲碳深度規定為表面至硬度52.5HRC（洛氏硬度）處的深度。

3、滲氮

  采用滲氮可保證輪齒在變形最小的條件下達到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后可不再進行最后的精加工，提高了承載能力。這對于不易磨齒的內齒輪來說，具有特殊意義。

4、嚙合齒輪的硬度組合

  當大、小齒輪均為軟齒面時，小齒輪的齒面硬度應高于大齒輪。而當兩輪均為硬齒面且硬度較高時，則取兩輪硬度相同。
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