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        半導(dǎo)體切割用激光裂片專用輸出型RV減速機(jī)裝置

        2022-09-14 11:09:14    責(zé)任編輯: 富寶科技     0

        專用輸出型RV減速機(jī)多線切割具有以下缺陷:

        1、由于碳化硅硬度大,切割時(shí)間需要很長,4寸碳化硅棒切割需要二十四個(gè)小時(shí)左右。

        2、原材料切割間隙損耗過大,切割一片需要消耗兩片的原材料,造成出片率低。

        3、鑄錠晶體中存在的硬點(diǎn)可能會(huì)在切割過程中造成斷線,加大了切割風(fēng)險(xiǎn)。

        4、切割后的碳化硅片表面損傷程度較淺、表面劃痕密,從而導(dǎo)致了更高的反射率損傷淺層。

        目前,碳化硅片生產(chǎn)通常采用多線切割將碳化硅棒切割成碳化硅片,多線切割基本原理為:繞在兩個(gè)主輥線槽內(nèi)的鋼絲在放、收線筒的帶動(dòng)下對碳化硅棒進(jìn)行高速磨削運(yùn)動(dòng)。在切割過程中需要對金剛線噴灑含砂的新漿,流量要隨著晶棒的形狀改變而改變,以此保證碳化硅片的表面質(zhì)量。